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二氧化碳发泡机配件 CO2 调节器 CO2 REGULATAE CELL，超纯水防静电装置专用，CO2 bubbler CO2 REGULATAE

深圳恩乐科半导体晶圆切割划片清洗用二氧化碳发泡机CO2 bubbler二氧化碳加碳机超纯水电阻调节装置、超纯水防静电装置的主要用途： 一是晶圆切割划片时带有静电，静电吸附了硅屑，清洗不干净。 二是清洗的产品本身有碱性物质，要在微酸性水中和才能去除，又不能有别的离子进入，所以需要注入纯净的CO2。配套划片机和超声波清洗机.型号：ELK-500L、ELK-1000L、 ELK-2000L、 ELK-3500L、ELK-5000L、ELK-7000L、ELK-100000L

CO2bubbler又名二氧化碳发泡机是一种超纯水防静电装置，能够提高超纯水的导电性，降低电阻率，避免在晶圆划片过程中静电积聚，消除硅屑、陶瓷屑的静电吸附。有效控制生产制程中的静电危害，避免静电吸附导致产品因静电放电而受损，降低静电破坏和微粒子的附着，提高产品良品率，降低生产成本。设备名称：CO2发泡机、CO2bubbler、超纯水防静电装置

超纯水防静电装置，又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机、二氧化碳鼓泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在划片制程、清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大大提高产品良品率，降低生产成本。

恩乐科CO2 bubbler 二氧化碳发泡机 超纯水防静电装置ELK-8000L，用于半导体晶圆划片、清洗消除产品静电，防止产品静电损伤。可以采用1拖10台划片机的工作方式，大大降低用户成本。

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