嵌入式二氧化碳发泡机CO2 bubbler超纯水防静电装置ELK-1000S
嵌入式二氧化碳发泡机 深圳恩乐科半导体晶圆切割划片清洗用二氧化碳发泡机CO2 bubbler二氧化碳加碳机超纯水电阻调节装置、超纯水防静电装置的主要用途:
一是晶圆切割划片时带有静电,静电吸附了硅屑,清洗不干净。
二是清洗的产品本身有碱性物质,要在微酸性水中和才能去除,又不能有别的离子进入,所以需要注入纯净的CO2。配套划片机和超声波清洗机使用。
型号:ELK-200L、ELK-500L、ELK-1000L、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-7000L