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CO2bubbler又名二氧化碳发泡机是一种超纯水防静电装置，能够提高超纯水的导电性，降低电阻率，避免在切割过程中静电积聚，消除硅屑、陶瓷屑的静电吸附。有效控制生产制程中的静电危害，避免静电吸附导致产品因静电放电而受损，降低静电破坏和微粒子的附着，提高产品良品率，降低生产成本。设备名称：CO2发泡机、CO2bubbler、超纯水防静电装置。

是由深圳市恩乐科环保科技有限公司生产的高品质产品。本系列产品主要用于使用气体渗透膜模块向超纯水中添加 CO2 以控制超纯水的电阻率值，防止因使用超纯水时产生静电而导致的静电吸附污染及静电破坏等事故。

.型号：ELK-500L、ELK-1000L、 ELK-2000L、 ELK-3000L、ELK-3500L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-7000L、ELK-10000L 

产品优势

• 形体紧凑，结构简单，故障率低
• 采用引入杂质最少的最先进核心专利技术，保证产水的高品质
• 使用方便，操作简单，调节精度高，稳定性好
• 耗电少，用气省，成本低，节能环保
• 产品设计寿命长，维修方便

产品效果

• 防止由静电引起的粉尘静电吸附
• 防止半导体元件受到静电破坏

实际用途

• 硅晶圆和芯片切割划片。
• 硅片清洗。
• 太阳能电池片清洗。
• 液晶面板清洗。
• 光掩膜清洗。