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“恩乐科”品牌二氧化碳发泡机产品介绍

产品功能：

超纯水防静电装置，又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机、二氧化碳鼓泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在划片制程、清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大大提高产品良品率，降低生产成本。

型号：   

ELK-500L、ELK-1000L  、ELK-2000L 、ELK-3000L 、ELK-4000L 、ELK-5000L 、ELK-6000L 、ELK-7000L、 ELK-8000L

ELK-10000L、ELK-15000L 、ELK-20000L、ELK-25000L、ELK-30000L

流量范围：1-100M3/H

适用行业：

1、 微电路芯片切割和清洗2、光掩膜切割和清洗 3、晶圆切割和芯片清洗 4、半导体硅片切割和清洗5、太阳能电池片切割和清洗 6、TFT面板切割和清洗 7、特殊工业的控制超纯水电阻