CO2 bubbler 二氧化碳发泡机、加碳机、超纯水防静电设备ELK-5000L
超纯水防静电装置,又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机、二氧化碳鼓泡机),去离子水电阻率调节装置,加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳, 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性,降低纯水的电阻率,防止在划片制程、清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品,消除硅屑的静电吸附便于清洗干净, 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质,不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备,可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害,防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤, 防止静电破坏和微粒子的表面附着,大大提高产品良品率,降低生产成本。