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      “恩乐科”品牌小流量二氧化碳发泡机（嵌入式）

产品功能：

二氧化碳发泡机，又称co2 bubbler(超纯水防静电装置、二氧化碳鼓泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在晶圆划片制程、芯片清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大大提高产品良品率，降低生产成本。

设备原理： 
本公司经过多年的研发和试验，生产ELK 系列超纯水防静电装置，本装置全部采用进口优质材料和仪表，设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2 无污染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里，而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2 气体和超纯水隔开， 通过设备中的精密调节装置可以控制CO2 在水中的溶解量， 从而实现精确控制水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.1-2MΩ•cm范围内。此产品可以消除产品表面产生的静电对产品造成静电吸附污染、静电放电损伤等危害，大大提高了产品的良品率。该产品广泛应用于微电子和半导体行业。 

流量：10L/H -3000L/H   用于划片机、清洗机配套。   ELK-1AP  、 ELK-2AP   、ELK-3AP