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超纯水防静电装置二氧化碳发泡机CO2 Bubbler CELL    二氧化碳发泡机配件 CO2 调节器CO2 REGULATAE

恩乐科超纯水二氧化碳发泡机CO2加碳机防静电装置二氧化碳注入机co2 bubbler二氧化碳鼓泡机，替代NGK，PRCⅡ-1000ACD  PRCⅡ-2000ACD   PRCⅡ-1200ACD  PRCⅡ-1220ACD  DIC 型号: E-FLOW

DISCO划片机配套设备

1、芯片封测厂晶圆划片割裂防静电损害 

2、微电路芯片切割和清洗

3、光掩膜切割和清洗

4、半导体硅片切割和清洗

5、TFT面板切割和清洗

6、陶瓷切割和清洗

7、玻璃切割和清洗

超纯水用带电防止器The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II

超纯水用带电防止器（The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II） (日本NGK）

半导体产品制造中，利用超纯水清洗时必不可少的设备。

 概要

通常的精密清洗过程中，往往使用不含离子的超纯水进行清洗，这样超纯水很容易产生静电，是以下的各种产品不良的主要原因。

・由静电产生电路破坏（静电击穿）

・被清洗物表面付着电荷，由静电吸引产生的微粒子粘着

超纯水用静电防止器（MEGAON II） 利用向超纯水中深解二氧化碳气体的方式，将电荷导出，达到除静电，搞高产品的良品率的目的。

MEGACON

特点

1，通过膜将二氧化碳溶解到超纯水中，微粒子的混入危险性小，信设备信赖性高；

2，采用自动控制系统，流量变动，目标水阻值可以达到精确控制；

3，设备进出超纯水的压力损失少；

4，欧洲电器标准CE

原理

通过膜装二氧化碳气体溶解到超纯水中。

用途

・半导体划片制程里的清洗

・高压喷射清洗

・液晶面板清洗

・曝光用MASK清洗

规格：ELK -500L  、ELK-1000L 、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-6000L、ELK-7000L、ELK-8000L、ELK-10000L

ELKPURE CO2 bubbler，Ultrapure water anti-static device

model： ELK-500L、ELK-1000L 、ELK-2000L、ELK-3000L、ELK-4000L、ELK-5000L、ELK-6000L、ELK-7000L、ELK-8000L、ELK-10000L

manufacturer: ELKPURE      flow：1000-10000L/H