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恩乐科CO2 bubbler 二氧化碳发泡机 超纯水防静电装置ELK-8000L，用于半导体晶圆划片、清洗消除产品静电，防止产品静电损伤。可以采用1拖10的方式，大大降低用户成本。

产品功能：

二氧化碳发泡机，又称co2 bubbler(超纯水防静电装置、二氧化碳鼓泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在晶圆划片制程、芯片清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大大提高产品良品率，降低生产成本。

设备原理： 
本公司经过多年的研发和试验，生产ELK 系列超纯水防静电装置，本装置全部采用进口优质材料和仪表，设计原理是通过膜接触器来实现超纯水的洁净CO2 无污染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里，而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2 气体和超纯水隔开， 通过设备中的精密调节装置可以控制CO2 在水中的溶解量， 从而实现精确控制水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.1-2MΩ•cm范围内。此产品可以消除产品表面产生的静电对产品造成静电吸附污染、静电放电损伤等危害，大大提高了产品的良品率。该产品广泛应用于微电子和半导体行业。 
设备特点： 
1、全部材料采用纯水管配件和仪表 
2、设备结构简单紧凑， 占地少，安装方便
3、零延迟响应流量变化，保证产水电阻率的高稳定性 
4、用气省，耗电少，耗CO2少，节能环保 
5、极低用水流量情况下电阻率值的精确稳定控制
6、全自己运自适应混合方式，产品水的电阻率可以很方便且精确地调整到0.1-2MΩ•cm范围内 
7、纯机械静态方式工作，故障率极低 
8、采用最先进透气膜方式无空气切入， 产水品质完全超越同类产品

9、支持一拖多模式，支持10-8000L/H流量和压力变化工况下的电阻率值的精确稳定控制
10、有数据和信号传输和储存功能

型号：   

流量范围：10-8000L/H

适用行业：

1、 微电路芯片切割和清洗2、光掩模切割和清洗 3、晶圆切割划片和芯片清洗 4、半导体硅片切割和清洗

5、太阳能电池片切割和清洗 6、TFT面板切割和清洗 7、特殊工业的控制超纯水电阻 8、光学镜头和耳机