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 “恩乐科”品牌二氧化碳发泡机（嵌入式）

产品功能：

二氧化碳发泡机，又称co2 bubbler(超纯水防静电装置、二氧化碳鼓泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机等。其原理是向高电阻率的纯水中添加高纯二氧化碳， 在水中产生适量的离子增强纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在晶圆划片制程、芯片清洗等半导体、TFT加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。超纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的表面附着，大大提高产品良品率，降低生产成本。